ウェーハ加工工程
１．切断（スライシング）
単結晶インゴットを直径が均一になるように外周研削。その後お客様が希望する抵抗率に応じて、内周刃切断機もしくはワイヤーソーを用いて厚さ1㎜程度にスライスし、ウェーハ状にします。
２．粗研磨（ラッピング）
ウェーハ両面を平行になるように整えながら、所定の厚さに仕上げるため、アルミナ研磨剤で粗研磨（ラッピング）していきます。
３．エッチング
前工程までにウェーハ表面上についた機械加工によるダメージを取り除くため、化学的なエッチングを行います。
４．研磨（ポリッシング）
ウェーハ表面の凹凸をなくし、平坦度の高い鏡面仕上げを行うため、コロイダルシリカ液を用いてメカノケミカル研磨が施されます。
５．洗浄・検査
洗浄ののち、厳しい検査を経て、SUMCOのポリッシュト・ウェーハが完成します。当社で製造した超高品質のポリッシュト・ウェーハは、世界中のお客さまにお使いいただいています。
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